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【図書】プラズマプロセス技術ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

プラズマ・核融合学会　編 -- 森北出版 -- ２０１７．１ -- 501.4

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資料コード	請求記号	所蔵館	所蔵場所	資料区分	状態
106391865	/501.4/218/	県立図書館	一般開架	和書	在

状態の表記について
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タイトル	プラズマプロセス技術
副書名	ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
著者	プラズマ・核融合学会　編
出版者	東京　森北出版
出版年	２０１７．１
ページ数	２７３ｐ
大きさ	２２ｃｍ
内容細目注記	文献：章末
一般件名	材料科学 , プラズマ物理学
NDC分類	501.4
内容紹介	超微細エッチング、プラズマＣＶＤ成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。
ISBN	4-627-77561-9
ISBN13桁	978-4-627-77561-9
定価	￥５６００
本体価格	￥５６００