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【図書】ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

表面技術協会　編 -- コロナ社 -- ２０１３．５ -- 566.78

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資料コード	請求記号	所蔵館	所蔵場所	資料区分	状態
105836720	/566.7/70/	県立図書館	一般開架	和書	在

状態の表記について
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タイトル	ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎
著者	表面技術協会　編
出版者	東京　コロナ社
出版年	２０１３．５
ページ数	１９８ｐ
大きさ	２１ｃｍ
内容細目注記	文献：ｐ１８６～１９５
一般件名	めっき
NDC分類	566.78
内容紹介	ドライプロセスの基礎を学ぼうとする初学者のための入門書。ドライプロセスとプラズマに関する概要と歴史的発展過程から、真空とプラズマの基礎、代表的なドライプロセスの原理・原則、薄膜・表面評価分析技術までを解説する。
ISBN	4-339-04631-1
ISBN13桁	978-4-339-04631-1
定価	￥２８００
本体価格	￥２８００