資料詳細

【図書】薄膜工学

金原　粲　監修 -- 丸善出版 -- ２０１１．６ -- 549.8

所蔵

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資料コード	請求記号	所蔵館	所蔵場所	資料区分	状態
105711469	/549.8/172/	県立図書館	一般開架	和書	在

状態の表記について
   在：「所蔵場所」にあります。
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タイトル	薄膜工学第２版
著者	金原　粲　監修 , 吉田　貞史　編著 , 近藤　高志　編著 , 日本学術振興会薄膜第１３１委員会　編集企画
出版者	東京　丸善出版
出版年	２０１１．６
ページ数	２９５ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般注記	初版：丸善　２００３年刊
一般件名	薄膜
NDC分類	549.8
内容紹介	薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた２次元・３次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。
ISBN	4-621-08414-4
ISBN13桁	978-4-621-08414-4
定価	￥３８００
本体価格	￥３８００