資料詳細

【図書】電子線リソグラフィ教本

横山　浩　監修 -- オーム社 -- ２００７．６ -- 549.7

所蔵

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資料コード	請求記号	所蔵館	所蔵場所	資料区分	状態
105333066	/549.7/20/	県立図書館	一般開架	和書	在

状態の表記について
   在：「所蔵場所」にあります。
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タイトル	電子線リソグラフィ教本
著者	横山　浩　監修 , 秋永　広幸　編
出版者	東京　オーム社
出版年	２００７．６
ページ数	２１０ｐ
大きさ	２１ｃｍ
内容細目注記	文献：ｐ２０１～２０３
一般件名	リソグラフィー , 電子線
NDC分類	549.7
内容紹介	「産学連携製造中核人材育成事業」の育成プログラム「電子線リソグラフィ」カリキュラムをもとに構築した実践的なテキスト。電子線リソグラフィの概要、電子線の制御方法や描画技術、レジストなどについて解説。
ISBN	4-274-20415-9
ISBN13桁	978-4-274-20415-9
定価	￥３０００
本体価格	￥３０００