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【図書】図解でわかる半導体製造装置

菊地　正典　監修 -- 日本実業出版社 -- ２００７．４ -- 549.8

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資料コード	請求記号	所蔵館	所蔵場所	資料区分	状態
105315980	/549.8/152/	県立図書館	書庫２層	和書	在

状態の表記について
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タイトル	図解でわかる半導体製造装置
著者	菊地　正典　監修
出版者	東京　日本実業出版社
出版年	２００７．４
ページ数	１８２ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	半導体
NDC分類	549.8
内容紹介	「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。
ISBN	4-534-04217-0
ISBN13桁	978-4-534-04217-0
定価	￥１９００
本体価格	￥１９００