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【図書】センサ・マイクロマシン工学 ( ＥＥ　ｔｅｘｔ )

藤田　博之　編著 -- オーム社 -- ２００５．１０ -- 501.22

所蔵

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資料コード	請求記号	所蔵館	所蔵場所	資料区分	状態
105082721	/501.2/201/	県立図書館	書庫２層	和書	在

状態の表記について
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タイトル	センサ・マイクロマシン工学
叢書名	ＥＥ　ｔｅｘｔ
著者	藤田　博之　編著
出版者	東京　オーム社
出版年	２００５．１０
ページ数	２０９ｐ
大きさ	２６ｃｍ
内容細目注記	文献：ｐ１９９～２０４
一般件名	センサ , マイクロマシン
NDC分類	501.22
内容紹介	センサとマイクロマシンに関して、その動作原理やつくり方からさまざまな応用に至るまでをわかりやすくまとめた教科書。センサとマイクロマシンをつくる基盤技術、半導体技術を拡張した微細加工法についても述べる。
ISBN	4-274-20134-1
本体価格	￥３２００