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【図書】はじめての半導体ナノプロセス ( ビギナーズブックス３２ )

前田　和夫　著 -- 工業調査会 -- ２００４．２ -- 549.8

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資料コード	請求記号	所蔵館	所蔵場所	資料区分	状態
104858816	/549.8/130/	県立図書館	書庫２層	和書	在

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タイトル	はじめての半導体ナノプロセス
叢書名	ビギナーズブックス
著者	前田　和夫　著
出版者	東京　工業調査会
出版年	２００４．２
ページ数	２３９ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	半導体 , ナノテクノロジー
NDC分類	549.8
内容紹介	ナノテクノロジー時代の半導体プロセス技術について、これまでの技術の流れからどのような変革が行われようとしているかを具体的に解説。半導体デバイス、実装技術、測定・評価技術などの重要テーマの動向についてもふれる。
ISBN	4-7693-1225-3
本体価格	￥２２００