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金原 粲 監修 -- 丸善 -- 2003.3 -- 549.8

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資料コード 請求記号 所蔵館 所蔵場所 資料区分 状態
104695374 /549.8/125/ 県立図書館 書庫2層 和書
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タイトル 薄膜工学
著者 金原 粲 監修 , 白木 靖寛 編著 , 吉田 貞史 編著  
出版者 東京  丸善
出版年 2003.3
ページ数 310p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜
NDC分類 549.8
内容紹介 薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う技術でもある。薄膜技術の基本事項、最新技術について、産業分野にも生かせる形でわかりやすく解説。
ISBN 4-621-07143-2
本体価格 ¥3800