資料詳細

【図書】真空ハンドブック

アルバック　編 -- オーム社 -- ２００２．７ -- 534.93

所蔵

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資料コード	請求記号	所蔵館	所蔵場所	資料区分	状態
104611355	/534.9/30/	県立図書館	一般開架	和書	在

状態の表記について
   在：「所蔵場所」にあります。
   貸出中：館外へ貸出中です。

   館内閲覧：館内でご利用ください。館外貸出はできません。
   図書館用：館内でご利用ください。図書館（団体）向けに貸し出す資料です。

タイトル	真空ハンドブック新版
著者	アルバック　編
出版者	東京　オーム社
出版年	２００２．７
ページ数	３３１ｐ
大きさ	２７ｃｍ
一般注記	付：表（４枚）
一般件名	真空技術－便覧
NDC分類	534.93
内容紹介	半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した９２年刊の新版。
ISBN	4-274-08727-1
本体価格	￥９５００