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【図書】すぐ使える洗浄技術装置・洗浄剤の機能と特徴

工業調査会　編 -- 工業調査会 -- ２００１．８ -- 576.5

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資料コード	請求記号	所蔵館	所蔵場所	資料区分	状態
104462833	/576.5/77/	県立図書館	書庫２層	和書	在

状態の表記について
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タイトル	すぐ使える洗浄技術
副書名	装置・洗浄剤の機能と特徴
著者	工業調査会　編
出版者	東京　工業調査会
出版年	２００１．８
ページ数	３５８ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	洗浄法
NDC分類	576.5
内容紹介	洗浄装置と洗浄剤を中心に、洗浄装置の抱える技術課題や解決方法、装置選定のポイントの他、代表的な洗浄装置、代替洗浄剤について、それぞれ専門技術者が詳細に解説する。半導体・液晶製造現場の代替洗浄の事例も紹介。
ISBN	4-7693-4149-0
本体価格	￥３４００