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【図書】はじめての半導体プロセス ( ビギナーズブックス１７ )

前田　和夫　著 -- 工業調査会 -- ２０００．１２ -- 549.8

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資料コード	請求記号	所蔵館	所蔵場所	資料区分	状態
104368881	/549.8/111/	県立図書館	書庫２層	和書	在

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タイトル	はじめての半導体プロセス
叢書名	ビギナーズブックス
著者	前田　和夫　著
出版者	東京　工業調査会
出版年	２０００．１２
ページ数	３１０ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	半導体
NDC分類	549.8
内容紹介	過去半世紀、停滞することなく高集積化・高密度化・高性能化を続けてきた半導体デバイス。その進歩を常に支えてきた半導体製造技術における半導体プロセスについて解説した入門書。〈ソフトカバー〉
ISBN	4-7693-1192-3
本体価格	￥２３００