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【図書】薄膜 ( 実験　物理学　講座　０８ )

権藤　靖夫　編 -- 共立出版 -- １９９２．９ --

所蔵

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資料コード	請求記号	所蔵館	所蔵場所	資料区分	状態
102857653	/420.7/4/8	県立図書館	書庫２層	和書	在

状態の表記について
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タイトル	薄膜
叢書名	実験　物理学　講座　０８
著者	権藤　靖夫　編
出版者	東京　共立出版
出版年	１９９２．９
ページ数	４１８ｐ
大きさ	２２ｃｍ
内容細目注記	薄膜製作技術　（真空蒸着法　末沢慶孝，権藤靖夫著．　プラズマやイオンを用いた成膜法　松原覚衛著．　スパッタ法　中井順吉著．　化学的方法　有住徹弥著）．　薄膜　（導電体薄膜・誘電体薄膜・半導体薄膜　中井順吉著．　磁性薄膜　角野圭一著．　超伝導薄膜　菅原昌敬著．　人工格子膜　新庄輝也著．　薄膜製作技術補遺　権藤靖夫著）．　各章末：文献
一般件名	物理学－実験 , 薄膜
ISBN	432003063X