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金原 粲 著 -- 東京大学出版会 -- 1987.9 --

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102134731 /549/97/ 県立図書館 書庫2層 和書
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タイトル 薄膜の基本技術 第2版
叢書名 物理 工学 実験 5
著者 金原 粲 著  
出版者 東京  東京大学出版会
出版年 1987.9
ページ数 170p
大きさ 21cm
内容細目注記 参考書:p157~158
一般件名 薄膜
ISBN 4130630415